打開(kāi)處理軟件

雙擊桌面上Avantage圖標(biāo)。

載入譜圖數(shù)據(jù)

Open files——選擇需要處理的vgp.格式的數(shù)據(jù)文件，打開(kāi)相應(yīng)的XPS譜圖。

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XPS譜圖處理

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1. 荷電位移（Charge Shift）

a. 先用鼠標(biāo)指針選中C1s譜圖，讀出當(dāng)前C1s譜圖上C—C鍵的C1s結(jié)合能位置，以C1s=284.8eV為參考值，記錄下當(dāng)前的荷電位移。

b. 選中所有XPS譜圖（包括Survey譜圖及元素的窄掃譜圖），即點(diǎn)擊譜圖框左上角的小方塊。

c. 對(duì)XPS譜圖進(jìn)行荷電位移：選擇工具欄中的“charge shift” 圖標(biāo)，在彈出 的窗口中選中“shift by amount”，然后在“shift by： ”中輸入荷電位移值，再選擇“+eV”或“-eV”，最后點(diǎn)擊“Close”關(guān)閉窗口。

2. 扣除X射線伴峰（Satellite Subtraction）

—此步驟僅適用于雙陽(yáng)極XPS?

a. 用鼠標(biāo)指針選中某個(gè)元素的窄掃譜圖，然后點(diǎn)擊工具欄中的“Satellite Subtraction”圖標(biāo)。

b. 在彈出的窗口中選擇本底類型為“Smart”，勾選“Subtract Background First”，然后點(diǎn)“Subtract Satellites”。（注意XPS測(cè)試時(shí)雙陽(yáng)極的類型是Mg?還是Al?）

c. 重復(fù)以上扣伴峰的步驟，將所有元素的窄掃譜圖都進(jìn)行X射線伴峰的扣除，最后點(diǎn)擊“Close”關(guān)閉窗口。

3. 定量（Quantification）

a. 先選中雙豎線指針，在需要定量的各個(gè)元素的窄掃譜圖中分別選取定量范圍。注意：定量范圍的起點(diǎn)與終點(diǎn)應(yīng)選在本底較平滑的位置。

b. 用鼠標(biāo)+Ctrl鍵選中所有需要定量的元素窄掃譜圖，然后進(jìn)行加峰，即點(diǎn)擊工具欄中 “Add Peak”圖標(biāo)。在彈出的窗口中選取“Peak Background”類型為 “Smart”，然后點(diǎn)擊“Add To All”對(duì)所有元素進(jìn)行定量加峰。?

定量結(jié)果如下圖所示：?

4. 定量數(shù)據(jù)及譜圖數(shù)據(jù)的導(dǎo)出（如Excel數(shù)據(jù)格式）

a. 選中所有XPS譜圖（包括Survey譜圖及元素的窄掃譜圖），同3.1.b操作。然后點(diǎn)擊 工具欄中的“X”圖標(biāo)，選擇“Report Options”。

b. 在彈出的窗口中的“File Path for Excel Document”一欄中輸入數(shù)據(jù)文件保存的地址與名稱，也可以通過(guò)“Browse”直接搜索地址，然后點(diǎn)“OK”生成一個(gè)Excel數(shù)據(jù)文件的地址。

c. 再次點(diǎn)擊工具欄中的“X”圖標(biāo)，選擇“Report to …”就可以自動(dòng)生成Excel數(shù)據(jù)文件。

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多化學(xué)態(tài)元素的分峰處理

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1. 選峰

用鼠標(biāo)指針選中需要進(jìn)行分峰處理的某個(gè)元素的窄掃譜圖，然后用雙豎線指針在該譜圖中選取分峰范圍。注：起點(diǎn)與終點(diǎn)應(yīng)選在本底較平滑的位置。

2. 對(duì)譜圖進(jìn)行分峰?

選擇工具欄中的“Peak Fit”圖標(biāo)，在彈出的窗口中先選取“Add Fitted Peak”，其中“Peak Background”類型選擇“Smart”。然后在需要進(jìn)行分峰處理的譜圖界面上通過(guò)移動(dòng)三豎線指針來(lái)選取所要加峰的位置（注：具體的不同化學(xué)態(tài)結(jié)合能數(shù)據(jù)可參考文獻(xiàn)或XPS手冊(cè)），位置選好后點(diǎn)擊“Peak Fitting”窗口中的“Add Peak”即可在譜圖上加峰。依此方法可以加多個(gè)峰。

注：分峰參數(shù)的設(shè)定（在譜圖上的Peak Fit界面，操作方法見(jiàn)上圖左側(cè)箭頭指示及標(biāo)注說(shuō)明）?

——所有的分峰參數(shù)可以通過(guò)直接點(diǎn)擊在譜圖上進(jìn)行手動(dòng)調(diào)整；?

——對(duì)于有相關(guān)性的峰之間，其分峰參數(shù)中的“Peak/BE”，“FWHM/eV”以及“L/G%”都可以進(jìn)行相關(guān)性設(shè)置，如下圖所示：

3. 對(duì)譜圖進(jìn)行峰擬合?

在“Peak Fitting”窗口中選擇“Fit Peaks”，然后點(diǎn)擊“Fit This Level”即可對(duì)多峰進(jìn)行擬 點(diǎn)中即可切換到“Peak Fit”界面 合。根據(jù)峰擬合的情況，可多次點(diǎn)擊“Fit This Level”，直至得到滿意的擬合結(jié)果。完成后最后點(diǎn)擊“OK”或“Accept”。

4. 峰擬合數(shù)據(jù)的導(dǎo)出（如Excel數(shù)據(jù)格式）?

方法同定量數(shù)據(jù)及譜圖數(shù)據(jù)的導(dǎo)出，具體操作見(jiàn)3.4。即選中所有XPS譜圖（包括Survey譜圖及元素的窄掃譜圖），然后點(diǎn)擊工具欄中的“X”圖標(biāo)，選擇“Report Options”；在彈出的窗口中的“File Path for Excel Document”一欄中輸入數(shù)據(jù)文件保存的地址與名稱，也可以通過(guò)“Browse”直接搜索地址，然后點(diǎn)“OK”生成一個(gè)Excel數(shù)據(jù)文件的地址；再次點(diǎn)擊工具欄中的“X”圖標(biāo)，選擇“Report to…”，就可以自動(dòng)生成Excel數(shù)據(jù)文件。

注：以上是應(yīng)用Avantage軟件中一些基本工具進(jìn)行XPS譜圖處理的相關(guān)步驟，若要使用軟件中的其它特殊工具，如平滑工具“Smoothing”，去除脈沖工具“Manual Spike Editor”，譜圖比對(duì)工具“Lightbox Compare”等對(duì)譜圖進(jìn)行特殊處理，具體操作方法可以參閱軟件中的“Help”文件。