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材料的X射線光電子能譜(XPS)數據曲線一般是多峰疊加的一條復雜的曲線，需要對該曲線進行基線扣除、分峰擬合。

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而對XPS能譜數據的這兩種處理，通常需要用XPSpeaks進行處理。其實，Origin繪圖軟件也能實現。

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下面以圖1中的A圖為例，為大家演示Origin的分峰擬合過程。

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圖1?Cu₂O@Cu₄(SO₄)(OH)₆的XPS能譜(來源：黃小燕,古穎,鐘嘉豪,等. Cu2O包覆堿式銅鹽催化劑的形成機理及催化性能[J]. 華南師范大學學報(自然科學版),2019,51 (1): 41-46)

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首先繪制出線圖（line），然后點擊菜單Analysis→Peaks and Baseline→ Multiple Peak Fit→ OpenDialog…，具體操作步驟如圖2所示。

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圖2 分峰擬合的操作步驟

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于是，會彈出圖3所示的對話框，選擇峰擬合函數Peak Function為Gaussian，然后點擊“OK”。

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圖3 擬合函數的選擇

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彈出一條提示框：雙擊拾取峰位置，或者單擊并敲擊←、→方向鍵精確調節峰中心位置，最后按回車或點擊“Open NLFit”。

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圖4 彈出的多峰選擇提示

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我們按照提示，在曲線上選擇每條隱藏的峰中心位置（這要憑經驗判斷隱藏的峰位置），在選擇峰位置后會出現多條紅色豎線，如圖5所示。

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圖5 尋峰

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回車或點擊“Open NLFit”后，會彈出一個對話框，點擊“Done”即可得到如圖6所示的分峰擬合效果。

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當然，我們只是雙擊確定峰位置，沒有精細調節，所以圖6所示的分峰效果較差，大家可以多次嘗試確定精確的峰位置，這樣分峰擬合越完美。

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圖6 Origin分峰擬合的效果

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